P PT Evonik Indonesia adalah perusahaan yang memproduksi bahan kimia hydrogen peroxide (H202). Penelitian Tugas Akhir ini, dilakukan di bagian maintenance pada sistem Hydrogen Purification Unit (HPU) pada periode bulan Januari 2010 sampai dengan November 2010. Permasalahan yang terjadi adalah sistem perawatan mesin perusahaan mat ini belum terencana dengan baik, sehingga menghasilkan waktu downtime mesin yang tinggi. Perencanaan jadwal pemeriksaan yang baik dapat meningkatkan nilai availability mesin sehingga waktu downtime pada mesin dapat di minimasi. Tahapan proses penelitian diawali dengan mengidentifikasi mesin kritis dan komponen kritis. Untuk perhitungan Preventive Maintenance, setiap komponen kritis dihitung interval waktu penggantian pencegahan dan interval waktu pemeriksaan dengan melakukan perhitungan identifikasi awal distribusi, pengujian Goodness of Fit, dan menghitung parameter dengan tujuan memperoleh nilai availability. Perhitungan nilai availability dengan Model Markov di lakukan dengan menentukan laju kerusakan dan laju perbaikan setiap komponen, menentukan state dan diagram transisi, menentukan matrix probabilitas transisi, menentukan probabilitas steady state dan menghitung nilai availability dan interval waktu pemeriksaan. Preventive Maintenance merupakan salah satu pendekatan dalam meningkatkan nilai availability dimana kejadian yang terjadi sekarang tidak berpengaruh pada kejadian berikutnya. Model Markov merupakan teori probabilitas modern dimana kejadian sekarang digunakan untuk memprediksi kejadian berikutnya. Pendekatan Model Markov dapat menghasilkan nilai availability untuk kondisi steady state. Model Markov yang digunakan dalam perhitungan yaitu Single Repairable Component. Berdasarkan basil perhitungan yang telah dilakukan, terdapat 3 mesin Valve kritis dalam sistem HPU yaitu Valve P-243, P-233 dan P-223. Nilai availability yang dimiliki perusahaan saat ini untuk Valve P-243 sebesar 90.22%, P-233 sebesar 90.7% dan untuk P-223 sebesar 90.24%. Dengan pendekatan Preventive Maintenance nilai availability Valve P-243 meningkat 4.94%, Valve P-233 meningkat 6.78% dan Valve P-223 meningkat 6.77%. Pendekatan Model Markov menghasilkan nilai availability steady state, untuk Valve P243 sebesar 97.80%, untuk Valve P-233 sebesar 98.85% dan untuk Valve P-223 sebesar 98.57%. Pembuatan interval pemeriksaan komponen berdasarkan pendekatan Preventive Maintenance untuk komponen spring setiap 182.73 jam, piston stem o-ring setiap 242.91 jam, actuator stem o-ring setiap 364.36 jam, packing spancer setiap 242.91 jam, dan seat ring gasket setiap 242.91 jam. Interval pemeriksaan dengan Model Markov untuk komponen spring setiap 182.18 jam, piston stem o-ring setiap 242.91 jam, actuator stem o-ring setiap 242.91 jam, packing spancer setiap 242.91 jam, dan seat ring gasket setiap 242.91 jam.